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flux coater甩膠機(jī)

此為Wafer Bumping的前一道工序設(shè)備，滿足在高速旋轉(zhuǎn)的Wafer上表面，完成松香均勻的涂敷(Flux coater)，為進(jìn)入下一工序做準(zhǔn)備，是晶圓植球工藝中重要的工序之一。

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